西汉时期为匈奴牧地。西汉武帝元鼎六年（公元前111年），建河西四郡。县境设昭武县，因境内月氏驻牧时筑昭武城，汉县因之，故名，隶于张掖郡；始建国元年（公元前9年），王莽废汉立新，改昭武县为渠武县；东汉建武五年（29年），复改渠武县为昭武县。
三国属魏。
晋武帝泰始元年（265年），避司马昭讳改昭武县为临泽县；安帝隆安元年（397年），以临泽县地置临池郡（治临泽）；隆安五年（401年），废临池郡。
北魏太平真君十年（449年），县地并于永平（今张掖）县，临泽县置撤销。
唐代宗广德二年（764年），吐蕃据甘州，县境属吐蕃；懿宗咸通十三年（872年），被回鹘占。
宋为西夏所据。
元属甘州路。
明为甘州右卫地。
清乾隆十五年（1750年），置甘州府抚彝分府（称抚彝厅），治所抚彝（今蓼泉），属甘州府。
民国二年（1913年）改厅为县，属甘凉道；民国十八年（1929年），改抚彝县为临泽县，属甘肃省第六行政督察区。
中华人民共和国成立后，临泽县隶于张掖分区。
1950年，改属酒泉分区（后改称专署）。
1952年，县治由蓼泉迁沙河堡。
1955年，仍属张掖专区。
1958年，撤销县制。
1962年，恢复，隶于张掖专区（后称专区为地区），为张掖市辖县。
